压电式压力传感器大多是利用正压电效应制成的。基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。
压电式压力传感器优缺点
压电式传感器的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。压电晶体可长期工作温度可达到400℃以上,瞬间(10个毫秒级)冲击温度可达4000K以上,可承受很高的表面压力(》150N/mm2)、刚度很高、线性好、迟滞小、在很宽的温度范围内灵敏度恒定、频响范围宽、可承受几乎无限的载荷循环数,绝缘阻抗非常高。
压电式压力传感器的应用
压电式压力传感器广泛应用在生物医学测量中,比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的,压电压力传感器常用于动态压力,所以压电压力传感器的应用就非常广。另外,由于石英晶体的高刚度,测量时相应的材料变形极小,一般在几微米之内,石英敏感元件的高固有频率特别适合于快速和动态过程的测量,它们不仅可以用于研发,也被广泛用于工业生产和试验过程。由于测量过程中几无形变,所以缓慢或准静态过程测量的误差很小。压电式传感器的缺点是某些压电材料需要防潮措施,而且输出的直流响应差,需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。